在基于石英晶体的测量系统中,监测晶体的选择直接决定了测量结果的准确性与稳定性。尤其在严苛的工艺环境下,为您的应用选择适合的 INFICON 晶体至关重要。
以太阳能电池制造为例,大面积镀膜常采用溅射工艺,并通过 QCM (石英晶体微量天平)实时监测膜厚以确保均匀性。但挑战在于:溅射过程产生的大量热量会直接影响测量精度。
此时,银电极晶体展现出关键优势:其卓越的导热性能(得益于银材料),能更快速地将靶材传导来的热量传递至传感器水冷基座,从而有效控制晶体温度。
带来的直接效益是?
· 测量更可靠
· 太阳能电池质量更高
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· 电极材料深度解析:对比金、银、合金电极的核心优势与适用场景。
· 电极图案选择关键:了解不同电极图案(如双锚点、单锚点、双面满镀)如何影响晶体稳定性、寿命和抗干扰能力。
· 应用场景精准推荐:针对光学镀膜(标准/精密/超薄)、金属镀膜(高热负载/低应力/高应力)、OLED、原子层沉积 (ALD) 等不同工艺,提供最优晶体选型建议。
· 高温专用晶体方案:特别介绍适用于高温ALD工艺的专用晶体及其稳定工作温度范围。