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英福康:低成本真空检漏|氮氢混合示踪气切换操作要点

来源:英福康INFICON 作者:英福康INFICON

2026-06-25 12:43:07

全球氦气供应持续收紧,价格波动、进口依赖——这些难题正让越来越多制造企业陷入被动。混合气体(5% H₂/ 95% N₂)作为稳定、经济的替代方案,正成为检漏领域的新选择。其可从任意工业气体供应商稳定采购,价格平稳,且英福康 LDS3000 检漏仪无需更换硬件即可直接兼容,检测灵敏度媲美氦气。


三项不可妥协的必要条件

切换前,系统必须满足三项要求,缺一不可

但切换并非简单换气。若系统配置不当,氢气本底信号会大幅升高,掩盖真实泄漏。为此,英福康总结出三项不可妥协的硬性条件,缺一不可:

1. 检测腔室必须为不锈钢材质——铝材脱气率高,表面氧化层多孔,吸附水汽后在质谱中裂解产生大量氢气本底,干扰测量。

2. 腔室内禁止使用任何塑料、弹性体或聚合物——这些材料释放的水分和烃类会抬高本底,使微小泄漏无法分辨。

3. 前级泵抽速必须充足——抽速不足会导致前级压力不稳,本底信号波动,测量重复性大打折扣。

 进一步优化系统

获得最佳信号/本底比和测量稳定性

满足基础条件后,强烈建议您进一步优化系统,以获得最佳信号/本底比和测量稳定性:

✔ 采用电解抛光不锈钢腔体,降低脱气率;

✔ 使用干燥空气充气,并安装空气干燥机,减少水蒸气吸附;

✔ 将英福康LDS3000的TMP转速设为1500 Hz,降低水相关干扰;

✔ 启用EcoBoost模式——这是极具影响力的单项设置,能主动降低本底,显著提升灵敏度,尤其在湿度较高的环境中效果突出;

✔ 更换为干式(无油)前级泵,杜绝烃类蒸气污染。

 应避免的情况

为保障测量质量,须在切换前予以消除

务必避免高湿度环境、油封泵以及腔室管路中的油脂或污染物,它们都是氢气本底的“帮凶”。

想获取完整的切换清单、压力限制参数及更多技术细节?

点击链接,下载英福康官方应用说明,逐条对照,一次成功

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