如果把芯片制造比作在头发丝上建造一座城市，那生产环境的温湿度、洁净度就是决定这座城市能否建成的“地基”。微米级的尘埃、±0.1℃的温差，都可能让整批晶圆报废，动辄损失数百万。半导体企业每天都在打一场看不见的“温湿度攻坚战”。

在这一领域深耕多年的欧博空调，凭借全场景定制化解决方案，与国内高端半导体设备领军企业费勉科技达成深度合作，共同为国产半导体产业的自主可控筑牢环境保障的基石。

01 标杆再携手：为什么是费勉科技

费勉仪器科技（上海）有限公司创立于2012年，是一家先进电子材料研发、制备、量测的高端科学仪器设备与半导体设备服务商。成立十余年来，费勉科技坚持“自主研发+技术创新”，在超高真空、温度控制、薄膜制备、等离子技术四大领域积累了深厚的技术储备，累计获得专利超过200项，是国内少数实现全链条自主可控的高端仪器设备企业。

凭借过硬的技术实力，费勉科技先后荣获国家工信部专精特新“小巨人”、上海市高新技术企业、上海市专精特新企业等多项荣誉，并形成了科学仪器、等离子、工业量测和半导体薄膜四大产品线。

02 半导体之困：一场看不见的环境战

半导体制造是迄今对生产环境要求最严苛的工业领域之一。

在部分高端生产车间中，环境控制标准已严苛到令人咂舌：温度精度需控制在±0.2℃以内，湿度精度维持在±5%的水平，洁净度等级要求达到Class 1级，监测颗粒粒径阈值已从0.5微米下探至0.1微米。

图/来源于网络

新版洁净室国家标准对温湿度、颗粒物浓度等关键指标的检测方法更将相对湿度≤30%的特殊环境纳入规范。这意味着，半导体企业面临的环境控制压力正变得越来越大。

费勉科技的产品线涵盖超高真空互联系统、晶圆级MBE系统、紫外光源等高端设备，其自身生产车间对环境的要求同样严苛。如何为这类高科技企业提供稳定、精准、高效的环境保障，是对暖通空调厂商技术实力的终极考验。

03 欧博方案：从主机到末端的全场景闭环

面对半导体生产环境的特殊需求，欧博空调没有采用“一刀切”的通用方案，而是深入分析费勉科技不同生产环节的痛点，量身定制了一套涵盖主机与末端的全场景解决方案。

▌主机层面：双机组协同，保障核心动力

一体式蒸发冷热泵机组是本方案中的核心设备之一。

一体式蒸发冷热泵机组，即将蒸发冷凝模块、主机模块、水力输送模块及相关管路配件集成组装，构成一个整体。

■ 一体化集成：一体式整机设计，集制冷系统、水力系统、控制系统，室外安装，无需机房；

■ 冷暖联供：整合了高效制冷与稳定制热功能，夏季制冷、冬季制热自动切换；

■ 工程费用低：大幅提高工程效率，缩短施工周期，降低工程费用；

■ 制冷能效高：制冷能效比风冷热泵提升50%以上；

针对部分需要制热的场景，方案还配置了超低温空气源热泵热水机组。

该机组采用补气增焓高压比压缩机与准双级压缩制冷循环，可在-30℃的低温环境下高效制热，有效拓宽了系统的适用性。

▌末端层面：组合式空调+风机盘管，精准响应

半导体车间内，空气的洁净度和温湿度分布至关重要。

欧博ZKW系列组合式空调机组通过初效、中效、高效的多级过滤系统，有效滤除空气中微米级的尘埃颗粒，为车间提供超高洁净度的空气环境。机组各项性能指标均达到国际领先水平：机械强度等级CD1级、空气泄漏等级CL1级、冷桥等级CB1级、传热等级CT1级。

而在办公区域、检测实验室等辅助空间，欧博配置了柜式风机盘管机组、卧式安装风机盘管及卡式风机盘管等多款末端设备，实现对不同空间的功能分区与个性化温控，既保障核心生产区的严苛环境，又兼顾人员工作区域的舒适性。

04 不止于此：欧博在半导体赛道的持续深耕

与费勉科技的合作，并非欧博空调在半导体领域的首次亮相。

从致真存储芯片项目到杭州泓芯微半导体二期项目，从芯科半导体到汉芯光科技，欧博空调的身影早已遍布中国“芯”版图。

针对半导体生产的高能耗痛点，欧博通过温湿分控与微环境优化等技术手段，在保障环境精度的同时显著降低运行成本。在芯科半导体项目中，经实测对比，整体空调能耗较预期大幅降低，一年节省电费达百万量级。

从设计规划到设备交付，再到后期运维，欧博空调致力于做半导体企业全生命周期的环境合作伙伴。

国产半导体产业的崛起，是一场从材料到设备、从工艺到环境的系统性工程。费勉科技在高端科学仪器与半导体设备领域持续突破，欧博空调则在其背后提供着“看不见却不可或缺”的环境保障。

温湿度攻坚战的胜负，往往隐藏在每一台机组、每一套系统、每一次精准调校之中。

未来，欧博空调将继续以技术创新为驱动，为更多像费勉科技这样的国产半导体领军企业提供可靠、高效、洁净的环境解决方案，共同推动中国半导体产业迈向高质量发展的新征程。