大家好呀！

我是你们的老朋友小福～春节的喜气还在心头萦绕，咱们英福康就已经整装待发，迎来了2026年开年后第一场重量级盛会——SEMICON China 2026！

3月25日-27日，小福将在上海新国际博览中心与大家见面，一起聊聊半导体制造背后的“硬核黑科技”，也聊聊如何用欧洲精研的技术，护航每一颗“中国芯”的诞生。

诚邀！聚焦未来工厂，英福康有备而来！

本次SEMICON 2026，我们以 “Building Tomorrow's Smart Factory Today” 为主题，带来从残余气体分析、泄漏检测、真空测量到智能制造的全链路解决方案。

下面就跟着小福先睹为快吧~

01 RGA家族

为工艺气体做“实时体检”

作为高端RGA领域的业界标杆，英福康Transpector系列源自欧洲精研技术，近日在欧洲启动本土化生产——以更稳定的全球供应，为半导体制造保驾护航。

Transpector CPX

—— 极速精准的“数据分析师”

专为ALD、CVD、PVD等严苛工艺而生，实时监测气体成分，确保每一步精准无误。相比上一代，体积减小30%，集成更轻松，操作更简便。

Transpector MPH

—— 多气体并行监测的“多面手”

高灵敏度残余气体监测，支持多气体并行检测，广泛应用于真空工艺、薄膜沉积等场景，稳稳守护工艺稳定与质量控制。

Transpector XPR 3+

—— 高压环境下依然灵敏的“极限挑战者”

可在20mTorr高压环境下稳定工作，测量速度行业领先。从高真空到20mTorr范围，都能高灵敏度检测空气泄漏和污染。双离子源设计延长使用寿命，快速诊断让工厂运行更高效。

02 泄漏检测“黄金搭档”

UL3000 Fab & SMART-Spray

UL3000 Fab 氦气检漏仪

—— 移动灵活的“检漏专家”

专为现代半导体工厂打造，高灵敏度、快速启动、测试精准，紧凑设计完美适配严苛空间，为高效运转提供可靠保障。

SMART-Spray 氦气喷枪

—— 无线便携的“省钱小能手”

专为UL系列设计，无线无管，单次充氦可喷超1000次，精准定位泄漏点，大幅节省氦气用量和成本。配备彩色照明显示屏，复杂环境下操作更简便。

03 真空测量系列

守护工艺的“第一道关口”

1 多系列真空计

英福康为半导体行业提供全系列的真空测量传感器，覆盖从粗真空到超高真空的广泛量程，稳稳守护真空压力控制和腔室完整性，为高产量和高品质打好基础。

2 清洁真空组件 & xParts涂层技术

采用英福康自主研发的xParts ALD涂层技术，涂层纯净、致密、无缺陷，耐受性强，从容应对腐蚀性工艺。根据不同工艺要求，提供标准、清洁与涂层三种清洁等级，在延长真空计使用寿命的同时，保障工艺环境的洁净度与稳定性。

04 让工厂“会思考”

英福康流程智能解决方案

面向未来工厂的智能化需求，英福康提供贯通全流程的实时生产数据管理与调度系统：

01 Factory Scheduler智能排产系统：协调设备、物料与物流，确保产品精准流转，消除瓶颈，减少闲置产能。

02 FPS数字孪生系统：基于实时数据精准预测，优化工厂生产调度，实现智能排产、优化库存周转、降低设备能耗，并通过可视化生产进度推动全面智能制造。