在半导体制造中，工艺的稳定性直接决定了良率与产能。然而，那些难以被察觉的微小泄漏，却可能在真空系统、气体管路或腔体密封中悄然发生，成为导致良率波动、计划外停机甚至整批次损失的隐性根源——这不仅拖慢了生产节奏，更在不知不觉中侵蚀着您的利润与竞争力。

英福康深知，在芯片制造迈向更精密、更集成的今天，泄漏检测已不仅是“检测”，更是“守护”。我们提供先进的泄漏检测解决方案，精准锁定从真空系统到复杂设备中的泄漏点，助您堵住产能漏洞，确保制造过程稳定、纯净、高效。

| 保持真空完整性：

精准检漏确保半导体工艺所依赖的真空环境稳定可靠。即使是极微小的泄漏也能被识别与修复，保障芯片特性的完美实现。

| 维护洁净室条件：

采用示踪气体进行泄漏检测，是一种清洁无污染的方法，完全符合洁净室标准，有效防止颗粒与污染物侵入。

| 定位复杂泄漏点：

借助示踪气体等先进技术，即使在结构复杂的半导体设备中，也能快速准确地定位泄漏源，适应多种设备配置。

| 高灵敏与高精度：

具备极高灵敏度的检漏系统，可捕捉最小泄漏信号，确保制造过程中的材料纯度，防止缺陷产生。

| 材料兼容性：

英福康检漏方案与半导体材料完全兼容，避免因检测过程引起的材料损伤或性质变化。

| 快速检测，提升产能：

可靠的检漏系统能在极短时间内提供准确结果，助力半导体制造实现高产能。快速发现并处理泄漏，最大限度减少停机时间。

| 无缝接入自动化系统：

系统支持与自动化产线集成，提供实时反馈，实现持续监控与即时响应，提升整体设备效率（OEE）。

| 高性价比解决方案：

英福康在确保检测准确性的同时，注重成本控制，为客户提供经济可靠的泄漏检测选择。

英福康检漏方案一览：精准匹配不同制程环节

· UL6000 Fab 系列：旗舰级性能，专为大型设备而生 

作为UL移动式氦气检漏仪产品组合中的旗舰型号，UL6000 Fab系列专为最新半导体工厂中的大型工艺工具设计，同时也适用于太阳能电池制造、平板显示器以及片到片或卷到片镀膜中的大型镀膜工具。它在所有测量范围内都能提供行业领先的响应速度，实现极短的测试周期，使泄漏检测既准确又高效。设备采用紧凑型设计，占地面积小，即使在空间严苛的先进半导体制造厂中，也能确保最佳的操作性与工作空间，从而实现对昂贵洁净室空间的最大化利用。

· UL3000 Fab 系列：灵活移动，覆盖主流需求 

该系列移动式氦气检漏仪专为满足最新半导体工厂中大多数工具的检漏需求而打造。它以灵活性、高移动性、快速启动、高灵敏度、快速精确的测试结果和可靠耐用著称。与UL6000 Fab一样，其紧凑设计确保了在现代化工厂严格空间要求下的优异操作性与工作空间效率。

· UL1000 Fab 系列：经济实用，坚固可靠 

此系列是工业及半导体环境中经济型氦气真空检漏的公认标准，尤其适用于较小的真空室。它在高性能、无与伦比的坚固性和优异经济性之间实现了最佳平衡。

· SMART-Spray 无线氦气喷枪：智能喷枪，无线自由 

这是一款移动式、无线的氦气喷枪，专为在现代半导体工厂中实现更快、更简单、更高效的精准漏点定位而设计。通过消除软管和手动流量调节，它大幅增强了操作员的灵活性并减少了测试误差。兼容全系列UL检漏仪，即便在狭窄设备空间和苛刻洁净室环境中，也能确保稳定可靠的喷射性能。

英福康，以精准检漏守护每一步制程，让芯片制造更可靠、更高效。