在光伏产业向高效化、智能化转型的关键期,INFICON 作为全球真空测量与薄膜控制领域的技术领先者,正以多元化产品矩阵重塑太阳能制造的底层逻辑。从钙钛矿电池量产突破到真空环境精密控制,从薄膜沉积技术到全流程协同优化,我们将通过系列文章,逐层拆解 INFICON 不同产品与技术在太阳能制造中的深度应用。
首篇聚焦:
当钙钛矿电池以卓越的转换效率成为行业焦点,其有机 - 无机杂化材料的沉积难题却成为量产 “拦路虎”。本文将深入解析 INFICON 以 “控制器 - 振荡器 - 传感器 - 晶片” 构成的全闭环薄膜控制方案,如何从纳米级精度入手,破解钙钛矿量产中的材料适配与工艺控制瓶颈,为光伏技术迭代提供核心支撑。
从单点突破到全闭环解决方案的薄膜哲学
如下是一个典型的薄膜控制系统结构图:
INFICON 的技术优势不仅在于单点突破,更在于构建了 “控制器 - 振荡器 - 传感器探头 - 晶片” 的全闭环解决方案:
1、Cygnus® 2 控制器:
定义纳米级沉积标准
针对钙钛矿电池多源时序沉积的严苛要求,Cygnus® 2 高分辨率控制器展现出行业标杆级性能:
· 六源协同控制:可同时管理 MAPbI₃前驱体、Spiro-OMeTAD 空穴传输材料,以及电子传输材料PCBM的蒸发源,以 0.1Å/s 的速率控制精度(行业顶尖水平),实现层厚从纳米到亚纳米级的精准调控。
· Auto-Z 动态计算:创新的全沉积过程实时材料密度与声速乘积计算技术,有效解决了钙钛矿材料 “未知 Z 值” 的行业痛点,无需实验室预校准即可消除厚度误差。
实测数据显示(如下图),其对 AIQ3 升华过程的四路独立源控制稳定性均<1Å/s,完美契合钙钛矿多层异质结结构对材料沉积顺序与厚度的严苛要求。
2、ModeLock 技术:
破解低频沉积的精度难题
传统石英晶体微天平(QCM)在低频沉积中常面临两大挑战:晶体频率跳变引发的测量误差,以及材料应力导致的晶体寿命缩短。INFICON 专利的 ModeLock 振荡器通过数字频率合成技术,动态锁定基频并智能调整频率模式,避免了传统被动晶体因能量固定导致的频率漂移。
实验数据显示,ModeLock 技术可将晶体寿命大大提高,同时能实现更高分辨率,即使在 0.1 Å/s 的极低速沉积中仍能保持稳定测量。
这一技术对钙钛矿电池尤为关键 —— 其有机 / 无机杂化材料在沉积过程中易产生应力,ModeLock 通过减少晶体能量损耗与频率跳变,显著提升了厚度测量的准确性。
3、Crystal12® 传感器的革新:
连续生产的效率引擎
在大规模生产中,晶体更换导致的停机是效率杀手。Crystal12®传感器通过12 晶体自动轮换系统,实现了 “免停机” 的连续监测:
· 气动切换技术:单个晶体耗尽时,系统可在不中断工艺的情况下自动切换备用晶体,配合双转盘设计,将停机时间压缩至行业最低;
· 电阻网络定位:无需继电器即可精准定位晶体位置,避免电机驱动的温度扰动,为温度敏感的有机材料沉积提供稳定环境。
同时,搭配 INFICON 自主生产的合金晶片,Crystal12® 还构建了目前业界最长效的监测体系。从高精度光学到半导体领域的专业晶体产品线,更彰显了 INFICON 在材料适配性上的技术沉淀。
4、自研晶片:
材料适配的“最后一公里”
INFICON针对钙钛矿有机材料特性开发的抗应力合金晶片,成为保障测量稳定性的关键一环:
· 材料应力缓冲设计:合金晶体结构可有效缓解 Spiro-OMeTAD 等有机材料沉积时产生的薄膜应力,将晶体失效概率大大降低,尤其适合长时间连续生产场景;
· 定制化封装方案:针对钙钛矿沉积中的湿度敏感特性,提供高密封性晶体封装,避免环境水汽对测量精度的干扰,有效提升长期监测稳定性。
结语:用薄膜厚度,丈量产业高度
在 “双碳” 目标驱动下,光伏制造正从 “效率竞争” 转向 “技术生态竞争”,太阳能制造进入 “叠层结构复杂化、薄膜厚度纳米化” 的新时代,INFICON 以全场景适配的薄膜技术矩阵,成为连接实验室创新与工厂量产的关键纽带。其技术不仅是工艺环节的 “精度守护者”,更是产业升级的 “生态构建者”—— 通过开放的材料兼容性(如支持定制晶体开发),为量子点叠层、全有机太阳能电池等未来技术预留接口。