近日,欧博空调凭借其优质的产品、完善的服务及深厚的行业经验,在激烈的竞争中成功脱颖而出,与合肥汉芯光科技有限公司达成重要合作。此次合作,标志着欧博空调高精度环境控制解决方案再次获得半导体尖端制造领域的高度认可,将为加速半导体先进光源的国产化进程提供坚实保障。
项目聚焦:破局之光,汉芯光科技的硬核实力
合肥汉芯光科技有限公司是一家专注于半导体先进光源领域的高科技企业,虽成立于2025年6月,却承载着打破国外技术垄断的使命。汉芯光科技在成立后仅三个月便实现了Plasma光源、Heater光源等多系列产品的正向研发与量产,并成功通过国内一线半导体制造企业的工艺认证,成为国内首家打破国外垄断的半导体光源企业。

为缓解国内市场对进口光源的严重依赖,汉芯光科技正积极建设新产线,建成后将具备年产氙灯1万只、卤素灯10万只、LSP光源2000台的规模,有力推动中国半导体光源产业的自主可控与升级迭代。
定制方案:精准环境控制的硬核保障
针对汉芯光科技生产车间对环境的严苛要求,欧博空调为其量身定制了专业的温湿度及洁净度控制方案。本次服务所采用的机组包括:
▌满液式水冷螺杆冷水机组:作为系统的“心脏”,该机组能效比高,运行稳定,提供持续、可靠的大冷量输出,确保生产设备散热需求得到满足,为整个洁净空间的温度稳定奠定坚实基础。
▌ZKW系列组合式空调机组:负责空气的集中处理,集成了过滤、冷却、加热、加湿、除湿等多种功能,是保障车间空气参数恒定的关键设备。
▌FP系列风机盘管:作为末端设备,分布在车间不同区域,实现灵活、精准的局部环境微调。

其中,满液式水冷螺杆冷水机组是本次解决方案的核心。其卓越的能效和稳定的性能,能够精确响应生产车间动态变化的冷负荷,从而保障半导体光源生产过程中,尤其是精密光学和电控环节,始终处于恒温恒湿的理想环境。
欧博解决方案:半导体制造的“洁净呼吸”
半导体制造是迄今对生产环境要求最严苛的工业领域之一,任何微小的环境波动都可能导致产品良率的断崖式下跌。
行业面临的严苛要求

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■ 极高的温度控制精度
光刻、蚀刻等工艺对温度波动极为敏感,±0.1℃的偏差都可能引起芯片尺寸偏移,影响性能。
■ 严格的湿度控制
湿度过高易导致结露和短路;湿度过低则会产生静电,击穿精密的电路元件。
■ 苛刻的洁净度
要求空气中微米级的尘埃粒子一旦附着在晶圆上,就会造成电路缺陷,导致产品报废。
欧博的解决方案与核心优势
欧博空调凭借在空调领域多年的技术积累和丰富经验,针对半导体行业的特殊需求,提供一套全面、高效、可靠的环境控制解决方案。通过研发先进的制冷技术、精准的温湿度控制算法、高效的空气净化系统以及智能的监控管理平台,为半导体生产车间提供理想的环境状态,助力企业提高生产效率和产品质量。

★ 优势一:高精度温度控制
采用先进PID控制算法与高精度温度传感器,实时感知并动态调节车间温度。配合高效压缩机与换热器,系统可根据实时负荷自动调整制冷输出,将温度波动控制在极窄区间,全面满足半导体制造对温恒环境的严苛要求。
★ 优势二:严格的湿度控制
配置专业加湿与转轮除湿设备,通过湿度传感器持续监测环境状态。一旦湿度偏离设定范围,系统即刻响应并自动调节,有效防止结露或静电对半导体材料与精密元件的损害,确保生产全程湿度稳定。
★ 优势三:高效的空气净化
搭载初效、中效与高效三级过滤系统,高效滤除空气中悬浮的尘埃粒子与微生物。选用优质滤材,在保证高过滤效率的同时延长使用寿命,为半导体车间营造持续、可靠的高洁净度环境。
实力印证:芯之所向,欧博的深厚行业积淀
欧博空调并非初次涉足半导体领域。事实上,我们已经在该行业深耕多年,凭借过硬的产品质量和定制化的解决方案,赢得了众多行业龙头企业的信赖。
从比亚迪半导体的功率芯片产线,到中车时代的汽车级芯片制造;从华润微电子的MEMS传感器工厂,到长江存储、东芯股份这样的存储芯片巨头;再到芯海科技的芯片设计研发中心,以及中微半导体、芯科半导体的装备制造环节,欧博空调的身影活跃在中国半导体产业的各个环节。

这一系列成功的合作案例,不仅印证了欧博空调解决方案在半导体领域的广泛适用性和高度可靠性,也奠定了我们在中国半导体产业环境控制领域的重要地位。欧博空调,正成为中国“芯”力量背后不可或缺的环境保障专家。



