申菱恒温恒湿洁净机获得北大微电子所的青睐，并于近日签订供货合同。
北京大学微电子学研究所成立于1985年，其前身是 1956年由著名科学家黄昆院士领导创建的北大物理系半导体教研室。现在是国家科学技术攻关和科技预研的重要基地，是国家微米/纳米加工技术中心。
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