在浙江芯科半导体的万级洁净车间内,精密仪器持续嗡鸣,光刻机精准作业。每一片第三代SiC功率芯片的诞生,都离不开一个无形的守护者——高度稳定的温湿度环境与极致洁净的空气。
温度波动超过±0.5℃,湿度失控数个百分点,都可能导致上百万的晶圆报废。这是中国半导体独角兽芯科面临的日常高压挑战,也是其发展路上必须跨越的能耗大山!
半导体制造是名副其实的“环境敏感型”产业。芯科半导体这类IDM企业,厂房规模宏大、设备投资高昂,对生产环境的控制近乎苛刻:
■ 温度与湿度精密控制: 纳米级制造工艺要求全年恒温恒湿,波动范围极小。
■ 空气洁净度保障: 极微小的尘埃都可能毁掉整片晶圆,高效过滤与气流组织至关重要。
■ 不间断可靠运行: 生产线全年无休,空调系统必须绝对稳定,停机即是重大生产事故。
■ 巨大能耗压力: 庞大的空间与严苛的温湿度需求,使暖通空调成为厂区“电老虎”,降耗迫在眉睫。
面对芯科半导体独特的生产流程与空间布局,欧博空调没有提供“通用答案”。项目团队深入一线,精准测绘分析,最终交出一套高度匹配的定制化空调矩阵:
图|机组现场照片
【四管制模块式风冷热泵机组】化身厂区冷热源“心脏”,四管制设计实现制冷制热独立精准调控,轻松应对办公区、研发区等不同区域的动态负荷需求,提升整体能效。
【模块式风冷冷水(热泵)机组】按需灵活组合,为洁净车间循环提供稳定冷源,其模块化特性大幅降低单点故障风险,保障生产连续性。
【ZKW系列组合式空调机组】作为洁净室环境的“精密调校师”,集成高效过滤、深度除湿、精准温控单元,确保核心生产区域空气参数始终如一,洁净度稳定达标。
【FP系列风机盘管】分布式部署于办公及辅助空间,安静高效,独立温控,实现舒适与节能的完美统一。
这套系统不仅是设备的组合,更是欧博在电子半导体领域深厚know-how的结晶。针对半导体厂房的静电防控、微振隔离、电磁兼容等隐形需求,方案中植入了特殊设计:
▲ 气流组织经优化,消除死角,保障洁净度均匀稳定;
▲ 关键设备采用高效变频与热回收技术,能耗显著低于传统方案;
▲ 智能群控系统实现多机组高效协同,按需输出,避免能源空耗。
“欧博的方案真正读懂了我们的痛点,”芯科半导体项目负责人反馈,“运行一年多来,空调系统零意外停机,洁净室参数始终完美达标。更惊喜的是,经实测对比,整体空调能耗较预期大幅度降低,一年节省电费达百万量级。”
从一颗芯片的诞生,到一座“绿色工厂”的运转,欧博空调凭借在电子半导体领域数十年的深耕,打造的覆盖项目全生命周期的一体化解决方案(从前期规划设计、设备定制,到中期集成实施、调试验收,再到后期智慧总控与智能运维)已助力国内外数十家知名芯片制造企业破解环境控制与能耗困局。
在半导体这条“精密至上”的赛道上,稳定与节能是永不退潮的竞争力!欧博空调依托深厚技术积累,以高效节能的产品、高度定制化的系统解决方案和快速响应的服务网络,正成为越来越多像芯科半导体这样的行业领军企业背后,不可或缺的“环境守护者”与“能耗破解专家”。