在光伏产业向高效化、智能化转型的关键期，INFICON 作为全球真空测量与薄膜控制领域的技术领先者，正以多元化产品矩阵重塑太阳能制造的底层逻辑。从钙钛矿电池量产突破到真空环境精密控制，从薄膜沉积技术到全流程协同优化，我们将通过系列文章，逐层拆解 INFICON 不同产品与技术在太阳能制造中的深度应用。

系列第三篇

本文是继 INFICON 薄膜沉积控制技术，真空测量方案后的第三篇文章，揭秘氦气泄漏检测实践在太阳能领域的深度应用。

太阳能电池技术飞速发展，晶体硅电池效率持续突破，钙钛矿电池加速崛起。CVD/ALD/PVD等关键设备极大优化了电池性能，但设备泄漏问题成为重大挑战。以PECVD设备为例，泄漏会导致反应腔内气体成分和压力失控。在HJT（异质结）电池制造中，这将造成非晶硅钝化层生长不均，使电池的开路电压和填充因子下降，光电转换效率最多可降低不少。

面对如此严峻的泄漏挑战，INFICON推出由UL系列检漏仪(UL1000/3000/6000)、SMART-Spray智能喷枪和I-BOOST加速系统组成的氦气检漏方案，为设备真空系统提供全方位保障。

UL系列检漏仪：

给光伏设备做 “全身 CT” 的精密仪器

INFICON的UL系列（UL1000/3000/6000）检漏仪堪称检漏界的 “精密大师”，检测精度可达 10⁻¹²mbar・l/s，能够精准捕捉到极其细微的泄漏。无论是高真空环境，还是中低真空区域，它都能从容应对，为不同工艺环节的设备提供可靠的检测数据。

SMART-Spray智能喷枪：

灵活的“漏点侦察兵”

SMART-Spray摒弃了传统的软管连接，采用无线设计，配备可充注微型氦气瓶(HeliCan)，能够轻松深入PECVD/PVD设备缝隙等传统手段难以触及的区域，极大地提高了检测的灵活性和覆盖范围，让漏点无处遁形。

同时，它具备精准定量喷射功能，可根据实际需求精确控制氦气喷射量，避免因氦气过量或不足影响检测结果。其集成的 1.8 英寸彩色显示屏能实时显示漏率数据，配合遥控器，操作人员无需靠近危险或高温区域，就能远程操控检测过程，既提高了检测效率，又保障了人员安全。

I-BOOST：

检漏仪的“超级加速器”

以前给 PECVD 腔体检漏像等公交车，得熬很长时间才能出结果。现在 I-BOOST 一启动，就像给检漏仪装上了火箭引擎。这个“超级引擎”彻底改变了传统检测大容积腔体耗时长的局面。它通过优化算法和硬件，将氦气响应速度提升数倍，能在极短时间内快速捕捉泄漏信号。

结语

INFICON这套黄金组合不仅是检漏工具，更是工艺控制与效率突破的技术枢纽：

· UL系列实现全量程覆盖，量化压力波动数据；

· SMART-Spray 无线精准定位漏点；

· I-BOOST 极速响应，使真空检测从“事后排查”升级为“实时智能调控”。

在光伏迈向TWh时代的进程中，它们以极致真空精度，支撑TOPCon、HJT、钙钛矿等新一代电池技术的产业化高度，浇筑可持续发展的“真空基石”。